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Con un amplio portafolio de productos, servicios, software y expertos, KLA-Tencor asiste a fabricantes en los procesos de manufactura de nanoelectronicos, desde la investigación hasta el desarrollo final de producción en volumen. KLA-Tencor cuenta con el servicio de equipos a industrias de semiconductores y a un número variado de otras industrias, incluidas las de LED, almacenamiento de datos e industrias de fotovoltaicos, del mismo modo a la investigación de materiales. En un rango de industrias, incluyendo la investigación general y de materiales, mecanismos optoelectronicos y almacenamiento de datos, donde se requiere perfilometria de superficie y calibraciones metrológicas para topografías de superficie ya sea, en el control de procesos o en la investigación de nuevos materiales características.
ALPHASTEP ® D-120
El sistema de perfilometría ALPHASTEP ® D-120 ofrece la más amplia gama de capacidades de aplicaciones específicas, incluyendo un máximo rango de 1,2 milímetros Z, resolución sub-angstrom, 6 angstrom altura del escalón repetibilidad, etapas XY motorizadas, y muchas otras características. Con sus motorizados 150 X 178mm etapas XY, la D-120 sistema de perfilómetro superficial ALPHASTEP ® se puede programar para que automáticamente varias mediciones en diferentes lugares de la muestra.
P-17 Stylus Profiler
La aguja perfiladora P-17 ofrece a la industria líder en la repetibilidad de medición de superficie para obtener un rendimiento de medición fiable. La herramienta de medición de superficie tiene 200 mm de longitud estándar de exploración – el único generador de perfiles aguja en el mercado para ofrecer la capacidad de exploración de largo sin la necesidad de costuras.
MicroXAM – 100
KLA-Tencor desarrolla perfiladores de superficie 3D que ofrecen una perfilometría de superficie óptica completa y solución interferómetro óptico centrado en las necesidades de la comunidad de la ingeniería y la investigación.